其他的微/纳米制造技术已经先进或新开发。微电解加工(MECM)是最有发展前途的加工技术之一。
摘要电化学微加工是一种极具发展前景的微纳加工技术，具有广泛的应用前景
掩膜电化学加工(MECM)是一种将光刻技术与微电解加工相结合的技术，被广泛应用于制备
加大对微电池的压力。图:电化学浆射流微加工示意图。在电解液中，MECM法特别有用。
电化学加工是最有前途的加工技术之一，可以用来加工[2]微孔。改善
2江苏省精密微制造技术重点实验室，电化学铣削;(iii)最后用
传统的加工技术有微细电火花加工、微细电化学微细加工和激光加工
我要感谢我的同事，Ozkeskin，在微/纳米制造实验室。
微电解加工(μECM)是其中比较突出的一种。如前所述，mECM具有很高的潜力制造高
Bhattacharyya, B, Munda, J, Malapati, M.电化学微加工进展。Int J Mach Tool Manu 2004;44(15): 1577 - 1589。